源自美国尖端科技的KM超声波检漏仪-分压力真空机
源自美国尖端科技的KM超声波检漏仪-分压力真空机
某些情况下，超声波检漏仪确定各成分的分压力是非常必要的例如在许多电子管、超声波检漏仪电子束管中，极少量的硫、氯就造成氧化物阴极的严重中毒。为了研究真空中的各种过程如吸气、放气、阴极激活、中毒、泄漏现象等，对各种气体成分的分析已成为必不可少的手段。
此外，超高真空下气体的成分经常极不相同，超声波检漏仪如果以干燥空气或氮气的规范曲线来读取压力，就会造成很大的误差。如果能用一分压力计将各成分的分压力测出，根据道尔顿定量，这些分压力相加之和就是系统的总压力。
目前的分压力真空计大多由于精密不够，一般只用于分析气体的成分以及各种成分所占比例，这种丈量分析仪器通常被称为质谱计。一般的质谱计不能直接丈量各种气体的分压力，而必需对质谱仪先进行各种气体成分的相对灵敏度，再丈量出各气体成分的离子流数值，列出一系列线性方程，通过复杂的计算，或借助于电子计算机求出各种气体成分的分压力。
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