超声波检漏仪之气镇真空泵的作用原理
泵工作中，经气镇阀放入适量的非可凝性气体到泵的压缩区，超声波检漏仪以降低被抽气体中可凝性蒸汽在泵内凝结程度的机械真空泵叫气镇泵。
用旋片泵抽出除含有大量可凝性蒸汽（如水蒸气）时，超声波检漏仪在压缩排气阶段当可凝蒸汽的分压超过该温度下的饱和蒸汽压时，蒸汽就凝结，凝结的液体与泵油混合后循环至低压侧时，超声波检漏仪由于压力降低，液体就会蒸发，使泵的极限压力上升，并影响泵的抽气性能，因此一般旋片泵不能抽除含有蒸汽的混合气体。为改善泵抽除蒸汽的性能，在泵的排气侧装有称为气镇阀的掺其装置，可定时将一定量的空气放入压缩区，使混合气体在压缩到推开排气阀压力时，蒸汽分压仍小于该温度下课凝蒸汽的饱和压力，因而蒸汽不会凝结，并能随其他气体仪器被排至泵外。
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